Индивидуальное домашнее задание 5. Термическое вакуумное напыление

• Название: Индивидуальное домашнее задание 5. Термическое вакуумное напыление
• Дата: 01.04.2021
• Размер: 16.82 Kb.
• Имя файла: 5.docx
• Тип: Документы; #190434

Индивидуальное домашнее задание №5.

«Термическое вакуумное напыление»



– масса распыляемого материала



– плотность напыляемого материала



– расстояние испаритель-подложка

= 200 мм

- диаметр подложки

= 125 мм







Отношение толщины пленки в центре подложки к толщине пленки на удаление от центра для

испарителя с малой площадью.





Отношение толщины пленки в центре подложки к толщине пленки на удаление от центра для

точечного испарителя.





Вывод: толщина напыляемой пленки для испарителя с малой мощностью d = 1 мкм, что

больше толщины напыляемой пленки для точечного испарителя d = 0,67 мкм. Отношение

толщины пленки в центре подложки к толщине пленки на удалении от центра для испарителя с

малой площадью меньше, чем отношение пленки в центре подложки к толщине

пленки на удалении от центра для точечного испарителя

[Введите текст]