Титановый сублимационный насос. 1 — титановый испаритель; 2 —корпус, охлаждаемый водой.
Хемосорбция характеризуется образованием прочной химической связи между поглощенной молекулой и поверхностью в результате химической или псевдохимической реакции. Химическая связь обычно возникает между первыми слоями газа и поверхностью. Молекулы газа при повышении температуры частично будут диффундировать в глубь поглотителя, образуя химические связи с атомами кристаллической решетки. Однако в любом случае сорбционная емкость поглотителя конечна, и поэтому сублимационные насосы, принцип действия которых основан на явлении хемосорбции, применяются только в условиях предварительного разрежения не хуже 1 Па.
|
Скачать 396.02 Kb.