Таблица насосов. Таблица насосов - копия. Низкий вакуум Kn Средний вакуум
Скачать 396.02 Kb.
|
Спиральный | * | | Бустерный | 0,45-15 | Атм 5* | Турбомолекулярный | | | |||||||||||||||
По принципу действия насосы делят на Механические и пароструйные. Первый вариант является двухсторонним и имеет фигурные вращающиеся роторы. При осуществлении рабочего процесса они входят в друг в друга, за счет чего создается направленное движение газа. Принцип работы струйных приборов основан на том, что направленная струя вещества завлекает молекулы газа, которые поступают из откачиваемого объема. Из-за низких коэффициентов компрессии для создания вакуумной среды современные насосы типа Рутс используются как комбинированные устройства, одновременно с форвакуумными приборами. При этом, их допустимые конечные давления напрямую зависят от предельных давлений последних. В качестве форвакуумных насосов допустимо применять роторно-поршневые, винтовые, пластинчато-роторные и жидкостно-кольцевые агрегаты. | Удаление газа из вакуумной системы с помощью движущихся поверхностей называется молекулярной откачкой. Существует несколько схем молекулярной откачки. Одна из схем, представляет собой откачку через канал, одна из стенок которого совершает относительное перемещение со скоростью v относительно оси канала. | ||||||||||||||||||||||
Одна из двух спиралей закреплена на корпусе, в то время как вторая совершает плоскопараллельное движение, при котором ее центр вращается вокруг центра неподвижной спирали. При таком движении каждая точка спирали также движется по окружности такого же радиуса, как и центр спирали. Поверхности неподвижной и движущейся спиралей разделены зазором и не соприкасаются во время работы. Смазка не требуется. Выпускное отверстие расположено в центре неподвижной спирали. Увеличение числа орбитальных циклов за время сжатия газа, уменьшает перепад давления в зазоре и соответственно улучшает предельное давление. | |||||||||||||||||||||||
Молекула откачиваемого газа получает приращение импульса в направлении насоса предварительного разряжения. При увеличении молекулярной массы газа, максимальный коэффициент компрессии возрастает а быстрота откачки остается неизменной. Таким образом насосы такого типа более эффективно откачивают тяжелые газы. В статоре 3 есть набор цилиндрических канавок, вход и выход которых разделены 1. Ротор 2 вращается с большой частотой так, что его линейная скорость близка к тепловой скорости молекул. Конструкции турбомолекулярных насосов классифицируются по расположению вала ротора--горизонтальные или вертикальные; по устройству и форме рабочих органов-- цилиндровый, конусные, дисковые с радиальным потоком. | |||||||||||||||||||||||
|