ДЗ4 Фомнэ. ДЗ 4 Студеникин 0106. Решение. Рассчитаем зависимость толщины напыляемой пленки d от расстояния от центра подложки

• Название: Решение. Рассчитаем зависимость толщины напыляемой пленки d от расстояния от центра подложки
• Анкор: ДЗ4 Фомнэ
• Дата: 07.10.2021
• Размер: 69.77 Kb.
• Имя файла: ДЗ 4 Студеникин 0106.docx
• Тип: Решение; #243286

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

«САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ

ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ «ЛЭТИ»»

ИМ. В.И. УЛЬЯНОВА (ЛЕНИНА)

Кафедра МИТ

ДЗ №4

По дисциплине «ФОМНЭ»

Вариант 10

Выполнил Студент Группы 0106 _________________ Студеникин А.Г.

Преподаватель доцент кафедры МИТ __________________ Мельник В.И.

Санкт-Петербург

2021

Исходные данные:





Решение.


1. Рассчитаем зависимость толщины напыляемой пленки d от расстояния от центра подложки L для испарителя малой площади и для точечного испарителя

1. 
   Для испарителя малой площади
   

2. 
   Для точечного испарителя
   

2. 
   Рассчитаем отношения толщины пленки d на удалении L от центра подложки к толщине пленки в центре подложки .
   

1. 
   Для испарителя малой площади
   

2. 
   Для точечного испарителя
   

Для двух пунктов составим таблицу с расчетами:

L, 10-3 м	0	30	60	90	120	150
для испарителя малой площади
d, м	1.427*10-9	1.416*10-9	1.386*10-9	1.338*10-9	1.275*10-9	1.201*10-9
d/d0	1	0.993	0.972	0.938	0.894	0.842
для точечного испарителя
d, м	0.357*10-9	0.355*10-9	0.279*10-9	0.340*10-9	0.328*10-9	0.314*10-9
d/d0	1	0.995	0.979	0.953	0.919	0.879

П остроим графики:


L

d



L

d/d0


Вывод: Толщина напыления с испарителя малой площади в 4 раза больше толщины напыления с точечного испарителя. Более тонкая пленка получается у точечного испарителя и по мере удаления от центра подложки она уменьшается. Если увеличивать расстояние от центра подложки – увеличивается и толщина напыляемой пленки.