Химико-термическая обработка
|
Код
|
Наименование операции
|
Пояснение
|
5110
|
Диффузионное насыщение металлами
|
Обогащение преимущественно поверхностного слоя металлами или неметаллами с помощью диффузии.
|
5111
|
Диффузионное насыщение металлами
|
простое (одноэлементное, одностадийное)
|
Диффузионное насыщение однородными атомами металла или неметалла.
|
5112
|
комплексное (двухкомпонентное, двухстадийное)
|
Диффузионное насыщение преимуществен-но поверхностного слоя атомами двух разных металлов (алюмосилицирование, хромоалити-рование и др.) или неметаллов (нитро-цементация, сульфонитрирование и др.) пере-насыщение атомами одного металла (неметалла) в две стадии.
|
5113
|
комплексное сложение
|
Диффузионное насыщение атомами трех и более разных металлов или не металлов.
|
5120
|
Диффузионное насыщение неметаллами
|
|
5121
|
Диффузионное насыщение неметаллами
|
простое (одно-элементное, одностадийное)
|
|
5122
|
комплексное (двух-компонентное, двухстадийное)
|
|
5123
|
комплексное сложное
|
|
5130
|
Диффузионное совместное насыщение металлами и неметаллами
|
Обогащение с помощью диффузии атомами металла и неметалла, Например: карбо-хромирование, карботитанирование и др.
|
5135
|
Диффузионное удаление примесей
|
Удаление с поверхностного слоя с помощью диффузии однородных атомов неметаллов, например: обезуглероживание, обезводороживание и др.
|
5136
|
Диффузионное удаление примесей
|
простое
|
|
5137
|
комплексное
|
|
5140
|
Термомеханическая обработка
|
|
5141
|
Термомеханическая обработка
|
предварительная (ПТМО)
|
|
5142
|
высокотемпературная (ВТМО)
|
|
5143
|
низкотемпературная (НТМО)
|
|
5144
|
высокотемпературная изометрическая (ВТМИзо)
|
|
5146
|
низкотемпературная изометрическая (НТМИзо)
|
|
5147
|
высоко-низкотемпературная (ВНТМО)
|
|
5148
|
предварительная поверхностная (ПТМПО)
|
|
5149
|
высокотемпературная поверхностная (ВТМПО)
|
|
5151
|
контролируемая прокатка
|
|
5152
|
изоформинг
|
|
5153
|
термоэлектрохимическая
|
|
5154
|
деформационное старение
|
|
5156
|
электротермомеханическая
|
|
5157
|
термомагнитная
|
|
5161
|
Вжигание
|
|
5162
|
Осаждение пленки
|
Получение защитной пленки на подложках полупроводникового материала кроме кремния
|
5163
|
Ионная имплантация
|
Операция получения легированных микроэлектронных слоев с помощью электронных и ионных лучей.
|
5164
|
Наращивание
|
эпитаксиального слоя
|
Получение на сильно легированной полу-проводниковой подложке пленки с неболь-шим содержанием легирующей примеси, сохраняющей морфологию этой подложки
|
5166
|
поликремния
|
Получение на полупроводниковой подложке с монокристаллической структурой кремниевой пленки с поликристаллической структурой
|
5167
|
Сплавление
|
Взаимное растворение компонентов металлов и полупроводникового материала до состояния растекания расплава с дальнейшей кристаллизации полупровод-никового материала при охлаждении расплава
|
5168
|
Обжиг
|
|
Скачать 1.11 Mb.