4 Ионно-плазменное распыление. Ионноплазменное распыление

• Название: Ионноплазменное распыление
• Дата: 28.04.2018
• Размер: 29.18 Kb.
• Имя файла: 4 Ионно-плазменное распыление.docx
• Тип: Документы; #42448

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Санкт-Петербургский государственный

электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

Кафедра микрорадиоэлектроники и технологии радиоаппаратуры


отчет

по индивидуальному домашнему заданию №4

по дисциплине «Физические основы микро- и наноэлектроники»

Тема: Ионно-плазменное распыление.

Студент гр. 6193		Ба Махел А.С.
Преподаватель		Буянтуев Б.С.

Санкт-Петербург

2017

Задание.

Рассчитать скорость распыления v при ионно-плазменном распылении для ионов аргона и соответствующей мишени М₂ для плотности тока j₁ (А/см²) и коэффициента распыления S.

Скорость распыления.

Процесс распыления также характеризуется скоростью распыления ν, определяемой по толщине слоя вещества, удаляемого в единицу времени и рассчитанной по формуле (1).

(1)

где – молярная масса мишени, – плотность тока ионов, S - коэффициент распыления, ρ - плотность вещества мишени.

Скорость распыления для аргона

Дано.









Решение:_Расчёт_скорости_распыления_v_при_ионно-плазменном_распылении_для_аргона:_Ответ'>Решение:

Расчёт скорости распыления v при ионно-плазменном распылении для аргона:



Ответ:

Скорость распыления для мишени М2(Cu)

Данo.









Решение.

Расчёт скорости распыления v при ионно-плазменном распылении для меди(cu):



Ответ.



Вывод.

Скорость распыления при ионно-плазменном распылении зависит от материала мишени, плотности подаваемого тока и коэффициента распыления.