МТУСИ_ЦОС_Лр№26-1. Лабораторная работа 1 Устройства функциональной электроники на Поверхностных акустических волнах Вар. З зуйков Михаил бсс2002
Скачать 198.89 Kb.
|
Лабораторная работа №1 Устройства функциональной электроники на Поверхностных акустических волнах Вар. З Зуйков Михаил БСС2002 Цель работы: 1. Изучение влияния конструкторско-топологических параметров устройства на поверхностных акустических волнах (ПАВ) на его электрические характеристики: а) выбор материала подложки; б) выбор геометрии (топологии) тонкопленочных элементов частотно-избирательных фильтров и согласованных фильтров сложных сигналов. 2. Освоение методики проектирования пленочных элементов устройств на ПАВ при использовании технологии изготовления интегральных микросхем. Исходные данные: Табл.1
, где Табл.2 Рассчитать частотно-избирательный фильтр с параметрами 𝑓0= 80 МГц; ∆𝑓 = 5,6 МГц; 𝑅𝑎 = 75 Ом. 1. Определяем относительную полосу пропускания ∆𝑓/𝑓0 = (5,6/80) ∙ 100% = 7%. 2. Из табл. 2 находим, что оптимальным материалом является Ниобат лития со срезом Z и c направлением распространения – Y, имеющий 𝜗ПАВ = 3,49 ∙ 103 м/с, 𝑁0=14, 𝑀0 = 17. 3. Определим 𝜆ПАВ : 𝜆ПАВ = 𝜗ПАВ / 𝑓0*10^6 = 4,36 ∙ 10−5 = 43,6 мкм. 4. Период решетки: 𝑑𝑝 = 𝜆ПАВ / 2 = 21,8 мкм. 5. Ширина электродов: 𝑑эл = 𝑑𝑝 / 2 = 10,9 мкм. 6. Определим длину электродов: 𝐿0 = 50𝑀0𝜆ПАВ / 𝑅𝑎 = 494 мкм. 7. Количество пар электродов во входном ВШП: 𝑁0′ = 𝑁0/10 = 1.4 = 1. 8. Расстояние между входным и выходным ВШП: 𝐷 = 20𝜆ПАВ = 872 мкм. 9. Ширина суммирующих шин: 𝑤 = 10𝜆ПАВ = 436 мкм. 10. Переходное затухание в фильтре 𝜉 , которое должно бить компенсировано дополнительным усилением, находим из графика на рис. 1 для ∆𝑓 ′ / 𝑓 ′ = 1 / 𝑁0′ = 71% ; 𝜉 = 26 дБ Рис.1 - Зависимость вносимых потерь на средней частоте от ширины полосы для различных материалов подложки Пример расчета согласованного фильтра ФМн СлС на ПАВ Рассчитать СФ для ФНм СлС с 𝑁э = 280; То есть в СФ необходимо иметь 280 отводов электродов с теми же размерами, что и в п. 6. Длительность элементарного импульса ФМн СлС: 𝑇э = 1/∆𝑓 = 0,17 мкс. 2. Расстояние между отводами электродов согласованного фильтра: 𝑙0 = 𝜗ПАВ ∙ 𝑇э = 0,6232 мм. 3. Общая длина всех отводов электродов ВШП: 𝑙𝑁э = 𝑁э ∙ 𝑙0 = 175 мм. |