Вакуум. №2-вакуумная арматура. Лабораторная работа 2. Изучение основных элементов вакуумной арматуры. Расчёт скорости откачки вакуумных систем

• Название: Лабораторная работа 2. Изучение основных элементов вакуумной арматуры. Расчёт скорости откачки вакуумных систем
• Анкор: Вакуум
• Дата: 03.11.2022
• Размер: 1.23 Mb.
• Имя файла: №2-вакуумная арматура.doc
• Тип: Лабораторная работа; #769412

Лабораторная работа №2.

Изучение основных элементов вакуумной арматуры. Расчёт скорости откачки вакуумных систем.

1. Цель работы. Ознакомиться с физическими основами и понятиями вакуума. Изучить основные элементы вакуумной арматуры. Провести расчет скорости откачки вакуумной системы определенной конфигурации.

2. Основные характеристики вакуума.
Физические свойства газов при низких давлениях изучаются в разделе физики, называемом «физика вакуума». Обычно в физике и технике понятие «вакуум» определяется как состояние газа, при котором его давление ниже атмосферного. Более строгое определение вакуума основано на соотношении между длиной свободного пробега молекулы и характерным размером сосуда, в котором находится газ. Вакуум количественно измеряется абсолютным давлением газа. Предельное значение вакуума, который удается получить в наземных экспериментальных установках, таково, что все равно в 1 м³ объема содержатся многие десятки и сотни тысяч молекул газа. Их количество, по крайней мере, определяется равновесными параметрами газ-вещество, из которого изготовлена вакуумная камера.

Физика вакуума основана на постулатах, которые можно сформулировать следующим образом:

1. Газ состоит из отдельных молекул;

2. Существует постоянное распределение молекул газа по скоростям, т.е. одной и той же скоростью обладает всегда одинаковое количество молекул;

3. Пространство газовых молекул изотропно, т.е. при движении молекул газа нет никаких преимущественных направлений;

4. Температура газа есть мера средней кинетической энергии его молекул;

5. При столкновении с поверхностью твёрдого тела молекулы газа могут абсорбироваться, т.е. захватываться поверхностью на время, большее среднего времени свободного пролета.

Интенсивность протекания физико-химических процессов в вакууме зависит от соотношения между числом столкновений молекул газа со стенками ограничивающего его сосуда и числом взаимных столкновений молекул. Оно характеризуется отношением средней длины свободного пробега молекул  к характерному (определяющему) линейному размеру  сосуда. Это отношение называется числом Кнудсена
K_n = , (1)

где Кс - количество соударений молекул газа друг с другом, Км - количество соударений молекул со стенками камеры, - длина свободного пробега, l - эффективный размер камеры. Оно положено в основу условного разделения областей вакуума на низкий, средний, высокий и сверхвысокий.

Низкий вакуум- это состояние газа, при котором взаимные столкновения между молекулами преобладают над столкновениями молекул со стенками вакуумной камеры. Такое состояние газа соответствует условию Kn<<1. При этом длина свободного пути молекул газа значительно меньше размеров вакуумной камеры. Низкому вакууму обычно соответствует область давлений от 10⁵ до 100 Па.

Средний вакуум- это состояние газа, когда частоты соударений молекул друг с другом и со стенками вакуумной камеры одинаковы, при этом Ldэф, а Kn1. Среднему вакууму обычно соответствует область давлений от 100 до 0,1 Па.

Высокий вакуум- это состояние газа, при котором столкновения молекул газа со стенками вакуумной камеры значительно преобладают над взаимными столкновениями молекул газа. При этом Kn1,5 Высокому вакууму обычно соответствует область давлений от 0,1 до 10^-5 Па.

Сверхвысокий вакуум характеризуется давлением газа, при котором не происходит заметного изменения свойств поверхности, первоначально свободной от абсорбированного газ, за время, существенное для рабочего процесса. Сверхвысокому вакууму обычно соответствует область давлений менее 10^-5 Па.

3. 
   Физические основы вакуума.
   
   1. 
      Газ и пар.
      

Газообразные вещества в зависимости от температуры могут быть газом или паром. Если температура газообразного вещества выше критической, то это вещество является газом. При комнатной температуре (+20С) только вода и углекислый газ являются парами, а остальные вещества - газами.

2. 
   Давление газов и паров.
   

Непрерывное хаотическое движение атомов и молекул зависит от температуры вещества и называется тепловым. Тепловое движение молекул изучает кинетическая теория. Согласно кинетической теории, молекулы газа, помещенные в замкнутый сосуд, будут оказывать определенное давление на его стенки. Усилие, сообщаемое в течение одной секунды квадратному сантиметру стенки сосуда, называется давлением газа. Давление газа пропорционально числу молекул в единице объема N и скорости теплового движения молекул .

P= N m² (2)

P=nkT. (3)
3.3. Адсорбция - это процесс захвата газов или паров поверхностью твердого тела с образованием на ней пленки толщиной в один или несколько монослоев молекул. Наибольшей адсорбционной способностью обладают пористые тела, так как они имеют большую площадь поверхности. При столкновении со стенкой сосуда молекула газа в ходе дисперсионного взаимодействия с молекулами поверхности удерживается на ней некоторое время, а затем отлетает в случайном направлении, подчиняясь закону диффузионного отражения.

3.4. Уравнение состояния идеального газа. Состояние идеального газа определяется тремя параметрами: давлением P, объемом V и температурой T. Формула, устанавливающая соотношение между этими параметрами, называется уравнением состояния идеальных газов:

PV= RT, (4)

где n m M -молекулярная масса газа; V - объем газа; R - универсальная газовая постоянная, R=kN_а=8,31*10³ Дж/(Кмоль), NA - число Авогадро, NA= =6,0210²⁶ кмоль^-1.

3.5. Частота соударений молекул с поверхностью. Число молекул, ударяющихся на единицу поверхности в единицу времени, или частота соударений,

Nq= (5)

Объем газа, ударяющийся о единицу поверхности в единицу времени, можно выразить через частоту соударений и молекулярную концентрацию:

Vq= (6)
3.6 Поток газа. Количество газа, проходящее в единицу времени через поперечное сечение трубопровода, называется потоком газа Q.

3.7 Вычисление времени откачки вакуумной системы. Одним из важнейших факторов при разработке вакуумных систем является определение времени откачки или времени, необходимого для снижения давления в системе от атмосферного до необходимого рабочего давления. Производительность вакуумного насоса определяется быстротой действия:

S_p= , (7)

где Q – поток газа, откачиваемый насосом; p_i – давление на входе в насос. Аналогично быстрота откачки системы S_s определяется выражением

S_s= , (8)

где р – давление в откачиваемом объёме. Суммарная проводимость системы трубопроводов между откачиваемым объёмом и вакуумным насосом связана с потоком соотношением

C_o= (9)

Решая совместно уравнения (7) - (9), можно найти взаимосвязь быстроты действия, быстроты откачки и суммарной проводимости трубопроводов:

(10)

Как видно, быстрота откачки оказывает сильное влияние на время откачки вакуумной системы.

Рассмотрим общую схему вакуумной системы, представленную на рис 1

Рис. 1

Схема вакуумной системы для вывода уравнения откачки:

1 – вакуумный насос; 2 – соединительный трубопровод; 3 – откачиваемый объём.
Массовый расход газа, откачиваемого из системы, определяется соотношением

m^’_out=ρS_s= (11)

где р – давление в окачиваемом объёме; R= – индивидуальная газовая постоянная.

Массовый расход газа, натекающего в систему через неплотности и негерметичности (течи), обозначим через m^’₁. Это натекание может быть обусловлено: действительными течами через стенки сосуда; возможными натеканиями за счёт выделения газа, ранее захваченного в «полостях» системы; газовыделением с металлических стенок или поверхности швов. Все материалы, помещённые в вакуум, выделяют адсорбированные газы или с поверхности, или из внутренних слоёв, или совместно; этот процесс называется газовыделением. Для чистой, правильно спроектированной и тщательно собранной вакуумной системы газовыделение вносит основной вклад в приток в систему.

Применяя закон сохранения массы в вакуумной системе и считая, что газ подчиняется уравнению состояния идеального газа, получаем
m^’₁- m^’_out= =V = (12)

где V – объём системы; t – время. Если ввести скорость газовыделения или скорость натекания, определяемую как Q_i= m^’₁RT, и быстроту откачки S_s= = m^’_out , уравнение (12) можно переписать в виде
= (13)

Это общий вид уравнения для определения времени откачки любой вакуумной системы в целом.

В области высокого вакуума, где поток газовыделения становится преобладающим, зависимость времени откачки может быть получена из общего соотношения (13), если ввести следующие функции для скорости натекания и быстроты откачки:

(14) (15)

где - начальная скорость газовыделения при (t=0); t₁ – постоянная времени системы; S₀ – быстрота откачки системы при давлении, намного превышающем предельное давление в системе. Производя эти две подстановки и решая уравнение (13), получаем

(16)

3. 
   Режимы течения.
   

Проводимость элемента вакуумной системы зависит от давления в системе, при котором происходит течение газа. В условиях низкого вакуума проводимость растет при повышении давления, при высоком вакууме она остается постоянной.

В низком вакууме при высоких давлениях возможно существование инерционного режима течения газа, аналогичного турбулентному режиму, рассматриваемому в гидродинамике. При этом силы инерции движущейся массы газа, вызывающие образование вихрей, приводят к сложному характеру распределения движения газа по поперечному сечению элемента.

Для определения условия существования инерционного режима течения можно воспользоваться критерием Рейнольдса

Re= . (17)

Здесь d - характерный размер элемента; v_г - скорость течения газа; - коэффициент кинематической вязкости. При Re>2200 возникает инерционный режим течения газа.

В элементах вакуумных систем такие потоки существуют очень редко. В основном они встречаются в момент запуска некоторых вакуумных установок.

В низком вакууме основную роль играет вязкостный режим течения газа, при котором характер распределения скоростей в поперечном сечении определяется силами внутреннего трения.

При высоком вакууме силы внутреннего трения стремятся к нулю, и существует режим течения газа, для которого характерно независимое перемещение отдельных молекул. Такой режим течения называется молекулярным.

В среднем вакууме на течение газов одновременно оказывают влияние внутреннее трение и молекулярный перенос. Существующий при этом переходный режим называется молекулярно-вязкостным.

Граничные условия существования различных режимов течения газа в вакуумных системах в зависимости от критерия Кнудсена Kn – отношение средней длины свободного пути молекул газа L к эффективному размеру d_эф – представлены в таблице 2.1. в каждом режиме для любого из элементов вакуумных систем может быть получена своя зависимость проводимости от давления, температуры и характерных размеров элемента.

Таблица 1

Режимы течения газа в вакуумных системах.

Режим	Граница
	Верхняя		нижняя
Вязкостный		Атмосферное давление	Kn≤5*10-3
Молекулярно-вязкостный		Kn>5*10-3	Kn≤1,5
Молекулярный		Kn>1,5	Kn→∞

3. 
   Вакуумная арматура. Вакуумная арматура служит для герметичного соединения откачиваемого объема с насосом, а также регулировки скорости откачки, состава остаточных газов и давления в вакуумной системе. Основные элементы вакуумной арматуры – фланец, трубопровод (вакуумопровод), вентиль (дроссель), натекатель.
   

5.1. Фланец – элемент соединительной части труб, арматуры, которая с уплотнителем обеспечивает герметичность соединений.

1. 
   Фланец с резиновым уплотнителем
   

Рис. 5.1.

2. 
   Фланец с уплотнением типа «зуб-канава» с прокладкой из меди, алюминия или индия
   

Рис. 5.2.

3. 
   Фланец с уплотнением типа « конфлат» с прокладкой из меди или алюминия
   

Рис. 5.3.

2. 
   Вакуумопроводы и их соединения:
   

Рис. 5.4.
На рис.5.4. показано фланцевое соединение, к фланцу вакуумопровод обычно приваривается, но также применяется и резьбовое соединение.
5.3. Сильфоны. Сильфоны представляют собой гофрированные трубопроводы, выполненные из тонкого металла (медь, латунь, нержавеющая сталь), толщиной порядка 0.1-0.2 мм. Они устанавливают на трубопроводах для компенсации температурных удлинений, они служат упругими разделителями сред и гибкими уплотняющими устройствами, а также чувствительными элементами датчиков, воспринимающими разность давлений газов. Исключительно эффективно использование сильфонов для герметичного ввода в вакуумный объем различного рода перемещений. На рис. 5.5. приведена характерная конструкция дросселя универсального (вакуумный вентиль), основным элементом которого является сильфон.



Рис. 5.5. Использование сильфона для ввода перемещения отсекающего клапана вентиля.
5.4. Вакуумные вентили и шиберы. Вентили и шиберы являются одними из основных элементов вакуумной арматуры.

5
.4.1. Вентиль – запорное приспособление для вакуумно-плотного перекрытия участка трубопровода. Они различаются пропускной способностью (диаметром проходного отверстия) и в своей основе имеют схожие конструкции. На рис. 5.6. приведена наиболее общая конструкция вентиля с применением металлических уплотнителей.

Рис. 5.6. Типичная схема дросселя универсального (ДУ).

5.4.2. Шибер – запорное устройство, используемое в качестве вакуумных затворов большой пропускной способности.

Р
ис. 5.7. Схема шибера

5
.5. Натекатели. Натекатели – устройства для дозированного контролируемого напуска в вакуумную систему газов. В вакуумной технике применяются несколько типов натекателей – игольчатый, прижимной, вибрационный. на рис. 5.8 приведена схема натекателя прижимного типа.
Рис. 5.8. Натекатель прижимного типа

3. 
   Основные конструкционные материалы для вакуумных систем
   

Конструкция вакуумных систем во многом определяется свойствами используемых материалов. В дополнение кобычным требованиям — прочности, технологичности, легкости и т. д.— вакуумная техника выдвигает кконструкционным материалам ряд специфических требований: 1) упругость паров материала при рабочей температуре должна быть значительно ниже рабочего давления; 2) газовыделение материала при рабочем давлении и температуре должно быть минимальным; 3) газопроницаемость материала в рабочих условиях должна быть минимальной; 4) вакуумная герметичность при малых толщинах; 5) коррозионная стойкость; 6) отсутствие ползучести вплоть до температур 500 — 600^оС; 7) немагнитность.

В вакуумной технике широко применяются такие конструкционные материалы, как чугун, сталь, медь, тугоплавкие металлы, специальные сплавы, стекло, керамика, пластмассы, резина, масла, замазки, клей и т. д.

Чугун применяется для изготовления корпусных деталей, работающих в масле в условиях низкого вакуума. Применяются особо плотные, мелкозернистые чугуны марок МС424-48 и СЧ24-44. Из других литейных сплавов используются бронзы, не содержащие цинка, кадмия и фосфора БрБ2 (2% Ве), БрА5 (5% А1) и алюминиевые сплавы АЛ2, АЛ5, АЛ9.

Конструкционная качественная малоуглеродистая сталь 08, 10, 15, 20 (_B=320...440 МПа) хорошо паяется и сваривается и может применяться для изготовления непрогреваемых деталей вакуумных систем при получении низкого и среднего вакуума. Сталь 45 (_B=640 МПа) сваривается значительно хуже и не рекомендуется для сварных вакуумных соединений, но может быть использована для изготовления непрогреваемых резьбовых деталей, валов и других нагруженных деталей. Для деталей прогреваемых высоковакуумных систем рекомендуются нержавеющие стали с содержанием хрома более 13%, не подверженные межкристаллической коррозии при повышенных температурах. В вакуумной технике широко применяется нержавеющая сталь 12Х18Н10Т, кислотостойкая, немагнитная, хорошо сваривается и паяется со специальными флюсами. Нержавеющие стали 1Х21Н5Т и Х17Г9АН4 в нагартованном состоянии прочнее стали 12Х18Н10Т и могут применяться для изготовления сильно нагруженных деталей — болтов, шпилек и т. д. Сталь Н36ХТЮ (ЭИ702) сохраняет хорошие упругие свойства до 600'С и может использоваться для изготовления пружинных компенсаторов в фланцевых соединениях.

Латуни Л62 (62% Сц и 38% Zn) и ЛС59-1 (59% Сп, 1/о РЬ, 40% Zn) применяются для изготовления деталей, не подвергающихся прогреву.

Алюминий марок АД1М, АМц применяется для изготовления прокладок, паропроводов масляных насосов, криогенных экранов и т. д. Коэффициент линейного расширения в интервале температур 20...300 ^oС равен 25,5*10^-6, предел прочности 120 МПа. Алюминий хорошо сваривается гелиево-дуговой сваркой, давая вакуумно-плотные спаи. Дюралюминий Д1 или Д16 с пределом прочности 380...430 МПа не дает герметичных вакуумных швов.

В вакуумной технике широко применяются специальные сплавы с определенными физическими свойствами, необходимыми для создания некоторых узлов вакуумной аппаратуры. К ним относятся ковар (Н29К18А) с коэффициентом линейного расширения (4,7...6,4)*10^-6 для пайки со стеклами молибденовой группы С-47, С-49; сталь Х18ТФМ и сплав Н47Д5 с коэффициентами линейного расширения 10^-5 и 8*10^-6 для пайки со стеклами С-87, С-89, С-90; сплавы Фени различных марок Н42, Н45, Н50 для пайки с различными группами стекол; НЗЗК17 для пайки со стеатитовой керамикой; инвар (H36, ЭН36) с малым коэффициентом линейного расширения и теплопроводности.

Тугоплавкие металлы — вольфрам, молибден, тантал, ниобий— применяются для изготовления нагревателей, тепловых экранов, токовводов и т. д.

Из титана (BTl, BT3, TЗ и Т4) изготавливаются катоды и гетеры ионно-сорбционных насосов.

Стекло марок С-47, С-87 широко применяется в вакуумной технике для изготовления трубопроводов, кранов, ловушек, корпусов приборов, насосов, манометров, изоляторов электрических вводов и т. д. После буквы С в обозначении марки стекла следуют цифры, соответствующие коэффициенту линейного расширения, умноженному на 10'.

В вакуумной технике керамика применяется вместо стекла для изготовления высокотемпературных изоляторов. Распространены следующие виды вакуумно-плотной керамики: стеатит, алундовая, форстерит, циркон. Наиболее термостойкой является алундовая керамика. (70 ... 96% Аl₂0₃,) с температурой размягчения 1900 ^oС и прочностью на сжатие 2000 МПа. Алундовая керамика хорошо паяется методом металлизации или активных припоев. Стеатит и форстерит изготовляются на основе талька с добавлением оксида магния, углекислого бария и высококачественной глины. Пайка стеатита с металлами затруднена, а форстерит паяется с титаном и дает с ним согласованные спаи. Циркон имеет хорошую теплопроводность, но очень тверд и не может обрабатываться после обжига.

Из пластмасс в вакуумной технике делаются многие детали: уплотнители, мембраны, изоляторы, гибкие трубопроводы и т. д.

Широко распространен фторопласт-4, хорошо обрабатываемый резанием, а при условии медленной деформации — и давлением. При температуре выше 200^oС из фторопласта начинается выделение фтористых соединений. Хрупкость наступает при температурах менее — 70^oС. Газовыделение у фторопласта меньше, чем у резины, он обладает хорошими электроизоляционными свойствами и очень малым коэффициентом трения.

Фторопласт-4 имеет следующие физические свойства:

Плотность, кг/м'.............. (2,1 ... 2,3)*10³

Предел прочности при растяжении, МПа . 14

Предел упругости при сжатии, МПа 3

Максимальная рабочая температура, ^oC 200

Коэффициент теплопроводности, Вт/(м^.oС) 0,006

Коэффициент линейного расширения .. . . . (55 ...210)*10^-6

Диэлектрическая проницаемость . .. . . . . 1,9 ...2,2

Электрическая прочность, кВ/мм...... 26

Газовыделение, м³Па/(м^2.с) 10^-4

Газопроницаемость по азоту и кислороду

(при 20^oС), м³Па/(м^2.с^.Па) 10^-9

Полиэтилен обладает малым газовыделением, но из-за недостаточной теплостойкости может применяться только при комнатной температуре.

Широко распространена, особенно в технике низкого вакуума, вакуумная резина. Ее газовыделение значительно меньше, чем у обычной резины, но все же много больше, чем у фторопласта. Кроме того, резина имеет большую, чем фторопласт, газопроницаемость. Термостойкость резины мала, но самые термостойкие сорта имеют рабочую температуру около 300^оС. Преимуществом резины являются отличные упругие свойства, благодаря которым она является прекрасным материалом для вакуумных уплотнителей. Вакуумные резины делятся на обычные и термостойкие, на маслостойкие и немаслостойкие.

Немаслостойкая белая вакуумнаярезина 7889 очень эластичная с малой газопроницаемостью. Диапазон рабочих температур от +90 до — 10^оС.

Маслостойкая чернаярезина 9024, ИРП-1015 имеет худшую эластичность и большее газовыделение, но меньшую газопроницаемость по сравнению с резиной 7889. Сорт ИРП-1015 более маслостоек, но менее прочен.

Термостойкие и маслостойкие резины (ИРП-1368, ИРП-2043) с рабочей температурой 250^оС перед употреблением должны обезгаживаться в вакууме в течение 24 ч при максимальной рабочей температуре.

Для низковакуумных систем, а также в ремонтных работах, часто используются клеевые соединения. Эпоксидный клей Л-4 применяется для соединения стали, стекла и керамики с рабочей температурой не более 140^оС, теряет прочность при длительном воздействии теплой воды. Кремнийорганические клен ИП-9, КТ-9, ВКТ-З, ВС-10Т могут выдерживать кратковременный нагрев до 300 ... 350^оС или длительную работу при 150 ... 180^оС.

Для лучшей герметизации разборных низковакуумных соединений между соединяемыми деталями добавляется смазка Рамзая (смесь каучука, вазелинового масла и парафина). Временная ликвидация течей и проверка на герметичность производится с помощью замазки типа пластилина — вакопластом. На основе воска и канифоли изготавливают заливочные массы, плавящиеся при температуре 60...90^оС и называемые пицеином.

3. 
   Основные принципы конструирования вакуумных систем.
   

Вакуумная система представляет собой совокупность средств откачки, соединительных вакуумопроводов, ловушек, запорно-регулирующей аппаратуры, манометрических преобразователей и других элементов, необходимых для создания и поддержания требуемой степени разрежения в откачиваемом объекте. Создание и поддержание требуемого разрежения в объёме может быть выполнено вакуумной системой, если будет обеспечена достаточная герметичность, прочность и устойчивость элементов, хороший доступ к внутренним узлам отдельных элементов (разборность их конструкций).

Всё многообразие существующих вакуумных систем можно классифицировать:

• 
  по величине создаваемых предельных разрежений на вакуумные системы низкого, высокого и сверхвысокого вакуума;
  
• 
  по виду основных средств откачки на вакуумные системы с диффузионными, турбомолекулярными, магниторазрядными и другими насосами;
  
• 
  по виду материалов, используемых для изготовления основных элементов, на металлические и стеклянные вакуумные системы;
  
• 
  по распределению давления в системе на динамические и статические вакуумные системы.
  

Динамическая вакуумная система характеризуется неравномерным распределением давления в различных её частях, причём перепад давления тем больше, чем дальше от средств откачки расположен данный элемент системы. Примером такой системы может служить практически любая промышленная или экспериментальная вакуумная установка.

Для статической вакуумной системы характерно равномерное распределение давления во всех её элементах. Типичным примером статической системы является отпаянный электровакуумный прибор с собственными средствами измерения давления. Условия статической системы можно получить и в динамической системе, если отсечь её от средств откачки (например, с помощью крана) и выдержать до установления равновесного давления.

Все элементы, входящие в состав реальных вакуумных систем, можно условно подразделить на основные и вспомогательные.

Основные элементы системы непосредственно участвуют в создании и поддержании требуемой степени разрежения в откачиваемом объекте. В их число входят средства откачки, ловушки, запорно-регулирующая аппаратура (краны, затворы, вентили, краны), соединительные вакуумопроводы, средства измерения вакуума.

Вспомогательные элементы системы либо входят в состав основных элементов и обеспечивают их работоспособность, либо используются самостоятельно для решения задач, связанных с технологией обработки откачиваемого объекта. Вспомогательными элементами могут служить электрические и термопарные вводы, вводы движения, смотровые окна и т.п.

3. 
   Порядок выполнения работы
   

1. 
   Заливаем азот в емкость, в которую отпускаем цеолитовый насос. Охлаждаем 20 минут.
   
2. 
   Напускаем в малый объем (V) метанол.
   
3. 
   После насыщения откачиваем вещество из объема, замеряя на датчике Thyracont - VD83 давление и время.
   
4. 
   Экспериментальные исходные данные занести в таблицу и построить график скорости откачки метанола.
   
5. 
   Ознакомиться с инструкцией по эксплуатации вакуумного датчика типа Thyracont - VD83.
   

3. 
   Контрольные вопросы.
   

1. 
   Основные характеристики вакуума.
   
2. 
   Основные законы и уравнения, применяемые для описания вакуума.
   
3. 
   Решая совместно уравнения (7) - (9), найти взаимосвязь быстроты действия, быстроты откачки и суммарной проводимости трубопроводов.
   
4. 
   Основные режимы течения.
   
5. 
   Описать основные элементы вакуумной арматуры.
   
6. 
   Какие требования налагаются на конструкционные материалы для вакуумных систем.
   
7. 
   Основные принципы конструирования вакуумных систем.
   

3. 
   Литература
   

1. Б.И. Королев и др. Основы вакуумной техники. М., “Энергия”,1975.

2. Л.Н. Розанов Вакуумная техника, М., “Высшая школа”, 1990.

3. 
   Вакуумная техника. Справочник. под ред. Е.С.Фролова. М., «Машиностроение», 1992.
   
4. 
   Ф.Г.Закиров, Е.А.Николаев, Откачник-вакуумщик. М., “Высшая школа”, 1977.