аннотация. Документ Microsoft Word. Научнотехнический журнал Наноиндустрия Выпуск #62012
 Скачать 12.85 Kb.
|
|
Аннотация Цель данного реферата состоит в том, чтобы ознакомиться с различными методами испарения, разобраться в их сути, а также проследить какие достоинства и недостатки имеет каждый из них. Вступление В микро- и наноэлектронике испарение материалов применяется в изготовлении тонких плёнок, которые могут иметь толщину от долей нанометра до нескольких микрометров и обладать рядом особенностей атомно-кристаллической структуры, магнитных, электрических и других физических свойств.. Они используются в самых разнообразных областях науки и техники, например, в качестве защитных покрытий, для преобразования солнечной энергии в электрическую, в сверхпроводниковых приборах, в интегральной и функциональной микро- и наноэлектронике, компьютерной технике и т.д. И тут важен способ термического вакуумного напыления. Научно-технический журнал «Наноиндустрия» //Выпуск #6/2012 А.Иванов, Б.Смирнов//Электронно-лучевое напыление: технология и оборудование//http://www.nanoindustry.su/journal/article/3388 Физические основы микроэлектроники: учебник для студ.высш. учеб. Заведений//Глава 4. Физические основы технологий получения тонких пленок. //В.И.Марголин, В.А.Жабрев, В.А. Тупик.- М.//2008 |