наноструктуры. курсбж. Поверхность. Некоторые свойства объектов
 Скачать 0.57 Mb.
|
|
исследование слоев наночастиц серебра на поверхности кремния После обработки в растворе AgNO3+HF на повер-ности Si формируется слой самоорганизующихся частиц серебра островкового типа(рис. 3). Они имеют примерно одинаковую высоту(40−60 нм), некоторый разброс по форме и соответственно по размерам(от 30до 100 нм). Видимые промежутки между частицами серебра являются своеобразными ”зародышами“ вершинобразующихся затем вертикальных нитеобразных кремниевых структур. Путем анализа изображений, представленных на рис. 3,a, были установлены усредненные размеры меж частичных промежутков в пределах 10−20 нм. Следовательно, можно ожидать формирование кремниевых нитеобразных структур приблизительно с таким же сечением нитей на последующей стадии МСХТ.  На рис. 3 представлены измеренные эллипсометрические углы  образцов с нанесенными наночастицами серебра. По сравнению со спектрами исходной поверхности кремния, вычисленными по данным из справочника, они изменились радикально. На этом же рисунке для сравнения представлены спектры эллипсометрических углов  для серебра, вычисленные исходя из показателей преломления n и показателей поглощения k из и использования модели полу-бесконечной среды. Спектр  для осажденного слоя Ag существенно отличается от вычисленного спектра,тогда как для спектра  зависимости достаточно близкие. На спектрах можно отметить наличие характерных пиков в области λ∼300 нм, но не совпадающих по положению и сильно отличных по форме. Однойиз возможных причин может быть влияние толщины осажденного слоя Ag на подложке Si. Допустим, что этот слой имеет небольшую толщину и(или)является несильно поглощающим, тогда падающее излучение будет взаимодействовать также и с подложкой и в результатев отраженном пучке может содержаться отклик и от нее. На вычисленных(а также измеренных)спектрах  для Si видны характерные особенности в области длин волн λ=290 и 365 нм(рис. 4), которые соответствуют структур еc-Si в областиE0=3.4 эВ в так называемых критических точках. На спектрах  для слоя Ag наличие признаков этих критических точек необнаружено. На основании этого можно считать, что глубина проникновения излучения в слой серебра не превышает его толщины, что приводит к оптическому экранированию поверхности кремния. В этом случае, можно использовать модель, в рамках которой излучение, падающее из воздуха, взаимодействует с полу бесконечной средой, в нашем случае это композитная среда состоящая из ”нано частиц Ag и воздуха“. Из измеренных двух эллипсометрических параметров(9и1)и определенного угла падения φ можно однозначно определить значение комплексной диэлектрической проницаемостиε(дей-ствительнуюε1и мнимуюε2части)этой среды из выражения  |