растровая электронная микроскопия. Растровая. Растровая (сканирующая) электронная микроскопия (рэм)
 Скачать 14.76 Kb.
|
|
Растровая (сканирующая) электронная микроскопия (РЭМ). Растровый электронный микроскоп(РЭМ) - прибор, основанный на принципе взаимодействия электронного пучка с веществом, предназначенный для получения изображения поверхности объекта с высоким пространственным разрешением, а также информации о составе, строении и некоторых других свойствах приповерхностных слоёв. Первые растровые электронные микроскопы были сконструированы в 1938 г. в Германии Манфредом фон Арденне и в 1942 г. в США Владимиром Зворыкиным. В середине 60-х годов РЭМ достигли высокого технического совершенства, появились на коммерческом рынке серийные приборы, и с этого времени началось их широкое применение в научных исследованиях, в том числе и в науках о Земле. Растровый электронный микроскоп состоит из следующих основных блоков и модулей: источника питания, электронно-оптической колонны с камерой для образцов и источником электронов, детекторов, а также системы индикации изображения. Источником электронов в растровом электронном микроскопе является электронная «пушка», состоящая из эмиттера электронов (катода), покинув который электроны затем ускоряются при движении к образцу. РЭМ оснащаются детекторами, позволяющими отобрать и проанализировать излучение возникшее в процессе взаимодействия и частицы, изменившие энергию в результате взаимодействия электронного зонда с образцом. Разработанные методики позволяют исследовать не только свойства поверхности образца, но и визуализировать информацию о свойствах подповерхностных структур РЭМ был создан, в первую очередь, для получения увеличенных изображений объектов вплоть до субнанометровых размеров. Как следует из названия, изображение исследуемых объектов в РЭМ, формируется в результате сканирования образца сфокусированным пучком электронов (пучком первичных электронов), последовательно точка за точкой. Сопоставление изображений, полученных в разных сигналах, позволяют делать вывод о морфологии и составе поверхности. К преимуществам РЭМ можно отнести: Возможность получения трехмерных изображений широкого спектра материалов с большой глубиной фокуса. Простота применения (за счет высокой степени автоматизации операций, выполняемых микроскопом и спектрометром). Высокая скорость получения изображения «области интереса» и проведения качественного и количественного анализа химического состава образца. Высокое пространственное разрешение. Возможность оснащения микроскопа различными детекторами сигналов, значительно расширяющих диапазон получаемых данных (помимо формирования изображения во вторичных и обратнорассеянных электронах, а также энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии используются методы: дифракции обратнорассеянных электронов; измерения тока, индуцированного электронным пучком микроскопа. К недостаткам РЭМ можно отнести: Сложность приготовления образцов. Специальные требования для расположения. Высокий вакуум. |