|
|
Лекция 1 Нанометрология термины и определения
Метрология (от греч. métron - мера и lógos - учение) – наука о методах и средствах измерений, обеспечение единства измерений, включающее стандартизацию единиц физических величин, их воспроизведение с наивысшей точностью с помощью Первичных эталонов, а также передача размеров таких единиц иерархическим образом всем средствам измерений. Нанометрология — наука, отличающаяся измерениями, методами и средствами их обеспечения единствами и способами достижения требуемой точности в диапазоне нанометров. Нанометр — это расстояние, проходимое светом за 10-9/с секунды, и использовать данное определение в измерениях К наноматериалам К нанотехнологиям - относят дисперсные и массивные материалы, содержащие структурные элементы (зерна, кристаллиты, блоки, кластеры и т.п.), геометрические размеры которых хотя бы в одном измерении не превышают 100 нм, и обладающие качественно новыми функциональными и эксплуатационными характеристиками.
- можно отнести технологии, обеспечивающие возможность контролируемым образом создавать и модифицировать наноматериалы, а также осуществлять их интеграцию в полноценно функционирующие системы большего масштаба.
- фундаментальные исследования свойств материалов на наномасштабном уровне;
- развитие нанотехнологий для целенаправленного создания наноматериалов, а также поиска и использования природных объектов с наноструктурными элементами, создание готовых изделий с использованием наноматериалов и интеграция наноматериалов и нанотехнологий в различные отрасли промышленности и науки;
- развитие средств и методов исследования структуры и свойств наноматериалов, а также методов контроля и аттестации изделий и полуфабрикатов для нанотехнологий.
- стремлением к миниатюризации изделий,
- уникальными свойствами материалов в наноструктурном состоянии,
- необходимостью разработки и внедрения материалов с качественно и количественно новыми свойствами,
- развитием новых технологических приемов и методов, базирующихся на принципах самосборки и самоорганизации,
- практическим внедрением современных приборов исследования, диагностики и модификации наноматериалов (сканирующая зондовая микроскопия),
- развитием и внедрением новых технологий, представляющих собой последовательность процессов литографии, технологий получения нанопорошков и т.п.,
- приближением к фундаментальным ограничениям (скорость света, соизмеримость наноструктурных элементов с длиной волны электрона и т.п.).
Предмет и задачи нанометрологии Первая задача нанометрологии Вторая задача нанометрологии - обеспечение единства измерений геометрических параметров нанообъекта, опирающаяся на метрологию линейных измерений.
- измерения механических, электрических, магнитных, оптических и многих других параметров и свойств объекта нанотехнологии требуют осуществления позиционирования зонда измерительного устройства в требуемое место с эталонной точностью.
Направления работ в области нанометрологии - Разработка рабочего эталона (установки высшей точности) на базе приборов нанометрового диапазона с интерференционными и другими датчиками перемещений.
- Разработка комплекса параметрических мер для калибровки приборов нанометрового диапазона, а также для передачи размера единицы длины в нанометровом диапазоне от первичного эталона к рабочему.
- Разработка Государственной поверочной схемы для передачи размеров единицы длины от государственного исходного эталона к рабочим средствам измерений.
- Разработка нормативно-технической документации, включая методику испытаний и поверки средств измерений на приборах нанометрового диапазона геометрических параметров двух - и трехмерных наноструктур.
- Законодательное оформление разработанного рабочего эталона в качестве Государственного рабочего эталона в области измерений нанометрового диапазона.
- Организация работ по международному сличению мер линейных размеров.
- Создание Центра нанометрологии и нанодиагностики
|
|
|
Скачать 44.15 Kb.