Отчёт по технологической практике. Отчёт по практике. С. Б. Вениг подпись, дата иниц

• Название: С. Б. Вениг подпись, дата иниц
• Анкор: Отчёт по технологической практике
• Дата: 24.02.2023
• Размер: 4.23 Mb.
• Имя файла: Отчёт по практике.docx
• Тип: Документы; #953243
• страница: 1 из 5

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования

«САРАТОВСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ Н.Г.ЧЕРНЫШЕВСКОГО»
УТВЕРЖДАЮ

Зав. кафедрой материаловедения, технологии и управления качеством,
д.ф.-м.н., профессор
уч. ст., уч. зв.
		С.Б. Вениг
подпись, дата			иниц., фамилия

ОТЧЁТ ПО ПРОИЗВОДСТВЕННОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ПРАКТИКЕ
студента 4 курса 4091 группы

направления 22.03.01 «Материаловедение и технологии материалов»

(профиль «Нанотехнологии, диагностика и синтез современных материалов»)

института физики

Молина Мансилья Хуана Себастиана
Продолжительность практики 28 календарных дней с 24.06.2022 по 21.07.2022г. (трудоёмкость 6 зачётных единиц)


Руководитель практики от университета,

старший преподаватель				П.Г. Харитонова
должность, уч. ст., уч. зв.		личная подпись, дата		инициалы, фамилия

Руководитель практики от организации,

директор, д.ф.-м.н., профессор				Ю.А. Филимонов
должность, уч. ст., уч. зв.		личная подпись, дата		инициалы, фамилия

Саратов 2022
СОДЕРЖАНИЕ

1.3Конденсация паров на подложке и образование плёночной структуры 11

1.4Резистивное термическое испарение в вакууме 12

1.5Резистивный нагрев 13

1.6Испарители с косвенным резистивным нагревом 14

1.7Проволочные испарители 15

1.8Ленточные испарители 16

1.9Испарители коробчатого типа 16

1.10Тигельные испарители 17

1.11Электронно-лучевые испарители 18

1.12Лазерный испаритель 19

1.13Обеспечение равномерности толщины плёнки 20

1.14Достоинства и недостатки термического испарения 21

Производственная технологическая практика проходила в Саратовском филиале Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова Российской академии наук в лаборатории магнитоэлектроники СВЧ. Магнитоэлектроника представляет собой довольно молодое научно-техническое направление твердотельной электроники, исследующее явления, связанные с воздействием внешнего магнитного поля на электронные свойства магнитных и немагнитных структур. Целью практики было знакомство с технологическими процессами осаждения тонких плёнок ферромагнетиков, фотолитографии и ионного травления, которые относятся с базовым при изготовлении микроструктур микроэлектроники.

Магнитоэлектроника – достаточно молодое научно-техническое

Также в задачи практики входило ознакомление с методами диагностики микроструктур, технологическим и аналитическим оборудованием, используемым в процессе изготовления и контроля микро- и наноструктур.

Для реализации этой цели необходимо было выполнить следующие задачи:

• 
  подготовить и очистить подложку железо-иттриевого граната;
  
• 
  провести магнетронное напыление пермаллоя на подложку железо-иттриевого граната;
  
• 
  вычислить скорость распыления пермаллоя на подложку и определить толщину полученной пленки;
  
• 
  осуществить фотолитографический процесс с позитивным фоторезистом;
  
• 
  провести ионное травление образца;
  
• 
  выполнить итоговую проверку качества образца при помощи профилометра и оптического микроскопа.