лекции кристаллография. Кристаллография наука, изучающая процессы образования, формы, структуру и физикохимические свойства кристаллов
Скачать 0.89 Mb.
|
Методика прогнозирования формы ямки травления.
Si – алмаз {111} Z (001) _ _ (111) _ (111) Y (111) X _ (111) _ (111)
_ (111) _ (111) (111)
Плоскостью (111) сечь не будем, т. к. она наиболее плотноупакованная.
Задача: Монокристалл кремния разрезан по плоскости (111). Необходимо спрогнозировать форму ямки травления и указать какими плоскостями она ограняется. Для кремния наиболее плотноупакованные плоскости: Si {111}, {110}… Берем вторую по плотности упаковки плоскость {110} и строим из них многогранник. 12 плоскостей, значит, получим ромбододекаэдр. (111) Ямка травления: {110} Т. к. следующая по упаковке плоскость (110) и, если рассечь плоскостью (111), получим правильный треугольник. Средняя плотность дислокаций: Nд [1/см2] (через усреднение) Для кремния: Nд<103 1/cм2 (предельная величина). Плотность дислокаций в поликристаллах намного больше (до 108). Для AsGa (AIIIBV): Nд<104 – 105 1/cм2 Т. к. арсенид галия состоит из As и Ga, а мышьяк – легколетучий компонент и все поле усыпано ямками, число структурных дефектов больше и большое число дислокаций => дефективный материал. Двумерные дефекты (поверхностные). Двумерные дефекты – дефекты, имеющие в двух измерениях с размерами кристалла и в одном с параметром решетки. К ним относятся границы раздела двух групп: межфазные и внутрифазные и дефекты упаковки.
Границы в поликристалле:
Граница наклона – ось вращения лежит в плоскости границы зерен. Ось вращения в границы этих двух зерен Граница кручения – ось вращения перпендикулярная плоскости границы. В общем случае граница зерен имеет 5 степеней свободы, т. е. имеется 5 независимых параметров. Три параметра характеризуют взаимную ориентацию соседних зерен, а два параметра характеризуют ориентацию плоскости границы по отношению к решетке одного из зерен. Часто границу зерен характеризуют, указывая общее кристаллографическое направление и угол поворота вокруг него: Угол поворота может быть разным по величине. Границы разделяют на высокоугловые (>100) и малоугловые (<100). Малоугловые границы образованы системами дислокаций и, если Д – расстояние между дислокациями в стенки дислокаций, то: _ Д = b/, при малых углах: sin; Чем больше угол разориентации, тем ближе будут ямки травления друг к другу. В монокристалле: (чем больше , тем ближе) Субграница, определяет разную ориентацию. Может быть и так: Высокоугловые границы – границы зерен, которые выросли из разных центров (старейший вид дефектов). Модели, объясняющие высокоугловые границы.
Строение зависит от разорентации соседних зерен. Считают, что существуют углы совпадения, общие для двух решеток. Эти узлы могут образовывать свои сверхрешетки. При этом характерным дискретным углам поворота соответствует определенная плотность узлов совпадения. Пример (для ПК). Если =36,90, то вокруг оси с индексами <001>, плотность углов совпадения равна 1/5 (каждый пятый атом из двух решеток – совпадает). Величина, обратная плотности углов совпадения, обозначается: :=5. Если =1, то =0. Обычно = 3 –19. Если граница из узлов совпадения проходит в плоскости максима узлов совпадения, это граница Кронберга-Вильсона. И она является совершенной.
На границе между двумя зернами образуется дислокации, которые отличаются от дислокаций в кристалле. ЗГД отделяет ту часть межузельной границы, где сдвиг уже произошел, и установилось исходное периодическое строение границы, от той части, где он еще не начинался. экстраплоскость (оборвалась) область несовершенства граница Дефекты упаковки (ДУ). Дефектом упаковки называют прослойку с нарушенным чередованием плотноупакованных слоев. Существует два типа ПУ: ГЦК АВС-АВС-… ГПУ АВ-АВ-… Часто встречается: АIIIBV. Дефекты упаковки получают разными способами:
|